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1秒非接觸測厚——大冢SM-100手持膜厚儀
發(fā)布時間: 2025-11-14 點擊次數(shù): 54次在智能手機(jī)鍍膜、光學(xué)薄膜、食品包裝以及半導(dǎo)體封裝等產(chǎn)線,現(xiàn)場巡檢若仍依賴臺式橢偏儀或接觸式千分尺,不僅節(jié)拍慢,還可能劃傷樣品。日本Otsuka(大冢電子)推出的SM-100系列手持式非接觸膜厚儀,將反射分光干涉模塊集成于1.1kg手柄內(nèi),1秒內(nèi)完成0.1μm-100μm單層/多層膜厚測試,為現(xiàn)場質(zhì)檢帶來“即拿、即測、即判”的全新體驗。
一、反射分光干涉:無需標(biāo)樣,0.1μm起測
SM-100采用白光LED+微型光譜儀架構(gòu),通過解析干涉條紋頻率,直接計算絕對膜厚,免除傳統(tǒng)渦流/電磁法所需的基材檢量線。典型重復(fù)性2σ=0.01μm(SiO? 1μm),可覆蓋1-50μm常規(guī)厚度,選配模式擴(kuò)展至100μm,適用于AR膜、阻隔膜、AB膠等單/多層結(jié)構(gòu)。
二、手持1秒測試:巡檢速度提升10倍
整機(jī)重約1.1kg,內(nèi)置鋰電池連續(xù)工作4小時;測量光斑Φ1mm,對準(zhǔn)即觸發(fā),1秒內(nèi)輸出結(jié)果,避免臺式設(shè)備搬樣、對焦、抽真空等耗時步驟?,F(xiàn)場巡檢UPH可達(dá)600點,是臺式橢偏儀的10倍,且不受樣品翹曲影響。
三、形狀自適應(yīng):曲面、邊緣、窄縫輕松測
標(biāo)配筆型探頭(Φ6mm端部)可深入鏡片邊緣、手機(jī)中框臺階、包裝封口等狹窄區(qū)域;同時提供“非接觸載臺”選件,濕膜或半導(dǎo)體晶圓無需接觸即可完成掃描,防止二次劃傷或污染。
四、數(shù)據(jù)無縫對接:USB-U盤+PC軟件
主機(jī)屏幕實時顯示膜厚、光譜曲線與合格標(biāo)識;插入U盤自動保存CSV,回辦公室一鍵導(dǎo)入Excel生成趨勢圖。USB-C接口亦可直連電腦,配套軟件完成SPC分析、CPK計算,滿足IQC/OQC電子記錄要求。
五、現(xiàn)場落地案例
手機(jī)AR鍍膜:現(xiàn)場抽檢蓋板AR膜(設(shè)計值106nm),1秒測得105.7nm,與臺式橢偏儀偏差0.3nm,巡檢600片/班,節(jié)省外送實驗室時間約4h。
食品包裝PVDC:濕膜狀態(tài)即時測得12.4μm,干燥后對比11.9μm,確認(rèn)溶劑揮發(fā)率3.9%,用于擠出模頭在線調(diào)節(jié)。
光學(xué)鏡片中心:筆型探頭測量Φ8mm鏡片中心抗反射膜,1點1秒,整盤80片完成僅需90s,R&R<5%。
六、技術(shù)規(guī)格一覽
測量原理:反射分光干涉法
膜厚范圍:0.1-100μm(單層);1-100μm(多層,最大3層)
重復(fù)性:0.01μm(SiO? 1μm)
測量時間:≤1s
光斑直徑:≤Φ1mm(標(biāo)準(zhǔn)探頭);Φ6mm(筆型探頭)
數(shù)據(jù)輸出:USB-U盤+RS-485(選配)
重量:約1.1kg;續(xù)航>4h
防護(hù)等級:IP30,可選IP54防塵套件
結(jié)語
日本Otsuka SM-100以“手持+1秒+非接觸”三大核心優(yōu)勢,把原本局限于實驗室的膜厚測試搬到生產(chǎn)現(xiàn)場,實現(xiàn)巡檢節(jié)拍與測試精度的雙贏,為光學(xué)、電子、包裝及半導(dǎo)體封裝等行業(yè)提供了高效、零損傷、數(shù)據(jù)可追溯的膜厚質(zhì)控新范式
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