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    日本HORIBA堀場(chǎng)隔膜式真空計(jì)VG-200S：高精度真空測(cè)量

    發(fā)布時(shí)間： 2025-10-13　　點(diǎn)擊次數(shù)： 68次
    在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，精確的壓力測(cè)量對(duì)于許多工藝流程至關(guān)重要，尤其是在真空環(huán)境下的應(yīng)用。日本HORIBA堀場(chǎng)推出的隔膜式真空計(jì)VG-200S，以其高精度、高穩(wěn)定性和緊湊設(shè)計(jì)，成為眾多行業(yè)的理想選擇。

    一、VG-200S的核心技術(shù)與特點(diǎn)

    （一）電容式測(cè)量原理

    VG-200S采用電容式測(cè)量原理，通過(guò)檢測(cè)膜片兩側(cè)壓力差引起的位移量來(lái)測(cè)量壓力。這種原理使得VG-200S在測(cè)量精度和穩(wěn)定性上表現(xiàn)出色，同時(shí)對(duì)氣體類(lèi)型具有獨(dú)立性，不受氣體種類(lèi)影響。

    （二）高精度與高穩(wěn)定性

    VG-200S的測(cè)量精度包括非線(xiàn)性、滯后性和不可重復(fù)性在內(nèi)的總誤差為0.25%R.S.，分辨率達(dá)到0.01%F.S。其獨(dú)特的電極結(jié)構(gòu)和自動(dòng)溫度控制功能，確保了在不同環(huán)境下的穩(wěn)定性能。

    （三）緊湊設(shè)計(jì)與自動(dòng)溫度控制

    VG-200S具有緊湊的自加熱設(shè)計(jì)，尺寸小巧，便于安裝和使用。自動(dòng)溫度控制功能使其能夠在不同環(huán)境溫度下保持穩(wěn)定的測(cè)量性能，這對(duì)于一些對(duì)溫度敏感的應(yīng)用尤為重要。

    （四）耐腐蝕性與耐用性

    VG-200S的隔膜等氣體接觸部件采用SUS316L材質(zhì)，具有良好的耐腐蝕性，能夠在苛刻的工業(yè)環(huán)境中長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

    （五）一鍵歸零與用戶(hù)友好性

    VG-200S配備一鍵歸零功能，簡(jiǎn)化了操作流程，提高了使用的便捷性。此外，其電源要求為±15VDC或24VDC，兼容性強(qiáng)，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)。

    二、VG-200S的應(yīng)用領(lǐng)域

    （一）半導(dǎo)體制造

    在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，精確的壓力控制對(duì)于保證產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要。VG-200S的高精度和穩(wěn)定性使其成為半導(dǎo)體制造中真空工藝的理想選擇。

    （二）平板顯示器與光伏面板

    在平板顯示器和光伏面板的生產(chǎn)中，VG-200S能夠精確測(cè)量工藝腔室內(nèi)的氣體壓力，確保生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。

    （三）真空技術(shù)

    在真空鍍膜、真空冶金等真空技術(shù)領(lǐng)域，VG-200S的高精度和高穩(wěn)定性為工藝的精確控制提供了堅(jiān)實(shí)的保障。

    （四）化工行業(yè)

    化工生產(chǎn)中常常涉及各種腐蝕性介質(zhì)，VG-200S的耐腐蝕性能使其能夠有效抵御化學(xué)腐蝕，延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命，同時(shí)提供可靠的壓力測(cè)量數(shù)據(jù)。

    三、總結(jié)

    日本HORIBA堀場(chǎng)的隔膜式真空計(jì)VG-200S以其高精度、高穩(wěn)定性、緊湊設(shè)計(jì)和良好的耐腐蝕性，成為現(xiàn)代工業(yè)中真空壓力測(cè)量的可靠選擇。無(wú)論是在半導(dǎo)體制造、平板顯示器、光伏面板生產(chǎn)還是化工和真空技術(shù)領(lǐng)域，VG-200S都能為工藝控制和質(zhì)量保證提供有力支持。


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